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臺式電鏡的作用及構造

 更新時間:2018-10-19 點擊量:2481
   臺式電鏡的作用及構造
   臺式電鏡采用全自動控制無油式真空系統,采用機械泵+磁懸浮分子渦輪泵+離子泵,無油污染,*的環形二次電子探測器,探測效率高、圓周對稱,探測器安裝在一側,且結構復雜。
   臺式電鏡維護簡便,且工作穩定,電鏡每8個小時都需要Flash(陰極還原),且發射電流不穩定,使用維護麻煩。末級光欄采用多孔光欄結構,用電磁方式進行更換和對中調整,操作方便。臺式電鏡多功能控制面板:方便進行聚焦、消像散、電位移、放大倍率調整等,可選配光電一體化模塊,實現與光學顯微鏡連用:實現低倍定位,拍照等功能。
   臺式電鏡預置圖像插入模板,生成報告非常簡單,可根據觀察目的設置儀器樣品倉內的真空度及加速電壓有多種選擇,可根據需求自行設置,簡化尋找視野、圖像拍攝、圖像確認等一系列操作過程,通過在樣品倉內安裝光學相機來拍攝整個樣品,可實現在顯示器上觀察樣品的同時,尋找樣品目標位置。
   而且,僅需在顯示器上點擊希望觀察的位置,即可進行SEM圖像拍攝,還可使用軟件將低倍率和高倍率SEM圖像的位置關系進行關聯,并將結果顯示在顯示器上,使各圖像的位置更為直觀。
   臺式電鏡束流穩定度高,優于0.2%/h,適宜于長時間的各種分析,所需的工作真空度(包括電子槍真空度和樣品室真空度)較低,對環境、樣品要求不高。而冷場發射電鏡的真空度比熱場要高2個數量級,真空系統復雜,如樣品不清潔、有揮發、放氣等情況,抽真空較困難。臺式電鏡采用動態/靜態磁透鏡,沒有雜散磁場,可對鐵磁體樣品進行高分辨率成像。

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